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产品概述
HORIBA SEC-Z714AGX 气体质量流量控制器是一款高精度的气体流量控制设备，专为需要精确气体流量调节的工业和科研场景设计。其粉色方形外壳设计紧凑，标签上详细标注了各项技术参数，确保用户能够快速获取关键信息。
产品特点
- 高精度控制：支持N2气体3000SCCM的流量范围，校准系数C.F为1.000，保证流量控制的准确性。
- 数字通讯：采用D-NET协议，便于集成到自动化控制系统中，实现远程监控与调节。
- 环境适应性：校准温度为环境温度（AMB），适用于多种工况环境。
- 可靠认证：通过UK CA CE认证，符合相关行业标准，确保使用安全与可靠性。
技术参数
- 型号：SEC-Z714AGX
- 气体类型：N2
- 流量范围：3000SCCM
- 通讯协议：D-NET
- 连接配件：FITTING 14C3，SIG S45
- 选项：7018
- 生产编号：TYPE No. 000258
- 检查日期：19 Jan 2022
- 序列号：0190-41114
应用场景
该流量控制器广泛应用于半导体制造、光伏产业、化学气相沉积（CVD）、实验室气体分析等领域，为工艺过程中的气体流量提供稳定、精确的控制，是高精度气体管理系统的关键组件。
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