HORIBA STEC SEF-8240FHM与VC-1420气体流量控制器产品说明
本产品为HORIBA STEC品牌的高精度气体流量控制设备,包含SEF-8240FHM和VC-1420两个核心组件,专为工业过程中精确的气体流量调节与控制设计,广泛应用于半导体制造、科研实验、化工分析等对气体流量稳定性要求极高的场景。
产品特点
- 高精度流量控制:两款组件均支持10SCCM的流量控制范围,确保气体流量输出稳定可靠。
- 集成加热功能:设置温度(SET TEMP)为120°C,通过HEAT INPUT(100-120V AC 50/60Hz 100VA)提供稳定加热,防止气体在传输过程中因温度变化导致流量波动。
- 安全认证:产品通过CE认证,外壳带有高温和警告标识,确保操作安全。
- 模块化设计:SEF-8240FHM与VC-1420可协同工作,VC-1420集成控制阀(VALVE 12V DC 50/60Hz 100VA),实现流量的精准调节与开关控制。
技术参数
- SEF-8240FHM参数:
- 气体类型(GAS):CMG/TS
- 流量范围(FLOW RATE):10SCCM
- 设定温度(SET TEMP):120°C
- 加热输入(HEAT INPUT):100-120V AC 50/60Hz 100VA
- VC-1420参数:
- 选项(OPTION):0032
- 流量范围(FLOW RATE):10SCCM
- 设定温度(SET TEMP):120°C
- 加热输入(HEAT INPUT):100-120V AC 50/60Hz 100VA
- 阀门规格(VALVE):12V DC 50/60Hz 100VA
应用场景
该气体流量控制器适用于需要严格控制气体流量的工业及科研领域,如:
- 半导体晶圆制造过程中的工艺气体输送控制
- 化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等薄膜制备设备
- 实验室精密分析仪器的气体供应系统
- 特种气体输送与配比系统
产品由日本HORIBA STEC制造,品质可靠,通过严格的出厂检验(检验日期:19 Nov 2013),确保在复杂工况下的长期稳定运行。
horiba SEF-8240FHM, VC-1420,OMCTS

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