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horiba SEF-8240FHM,   VC-1420,
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horiba SEF-8240FHM, VC-1420,

horiba SEF-8240FHM, VC-1420,OMCTS

原价
19200.00
售价
9600.00
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HORIBA STEC SEF-8240FHM与VC-1420气体流量控制器产品说明

本产品为HORIBA STEC品牌的高精度气体流量控制设备,包含SEF-8240FHM和VC-1420两个核心组件,专为工业过程中精确的气体流量调节与控制设计,广泛应用于半导体制造、科研实验、化工分析等对气体流量稳定性要求极高的场景。

产品特点

  • 高精度流量控制:两款组件均支持10SCCM的流量控制范围,确保气体流量输出稳定可靠。
  • 集成加热功能:设置温度(SET TEMP)为120°C,通过HEAT INPUT(100-120V AC 50/60Hz 100VA)提供稳定加热,防止气体在传输过程中因温度变化导致流量波动。
  • 安全认证:产品通过CE认证,外壳带有高温和警告标识,确保操作安全。
  • 模块化设计:SEF-8240FHM与VC-1420可协同工作,VC-1420集成控制阀(VALVE 12V DC 50/60Hz 100VA),实现流量的精准调节与开关控制。

技术参数

  • SEF-8240FHM参数
    • 气体类型(GAS):CMG/TS
    • 流量范围(FLOW RATE):10SCCM
    • 设定温度(SET TEMP):120°C
    • 加热输入(HEAT INPUT):100-120V AC 50/60Hz 100VA
  • VC-1420参数
    • 选项(OPTION):0032
    • 流量范围(FLOW RATE):10SCCM
    • 设定温度(SET TEMP):120°C
    • 加热输入(HEAT INPUT):100-120V AC 50/60Hz 100VA
    • 阀门规格(VALVE):12V DC 50/60Hz 100VA

应用场景

该气体流量控制器适用于需要严格控制气体流量的工业及科研领域,如:

  • 半导体晶圆制造过程中的工艺气体输送控制
  • 化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等薄膜制备设备
  • 实验室精密分析仪器的气体供应系统
  • 特种气体输送与配比系统

产品由日本HORIBA STEC制造,品质可靠,通过严格的出厂检验(检验日期:19 Nov 2013),确保在复杂工况下的长期稳定运行。

horiba SEF-8240FHM, VC-1420,OMCTS
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