HORIBA光发射光谱蚀刻终点监测仪EV-140C-P，成色

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HORIBA光发射光谱蚀刻终点监测仪EV-140C-P，成色

HORIBA光发射光谱蚀刻终点监测仪EV-140C-P，成色新，现货4台，议价再拍。

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Horiba EV-140C OES蚀刻终点监测仪产品说明

Horiba EV-140C是一款专业的光发射光谱（OES）蚀刻终点监测仪，专为工业蚀刻过程中的终点精确检测而设计。设备采用白色紧凑外壳，正面配备绿色显示屏，整体结构简洁耐用，适用于半导体制造、薄膜沉积与蚀刻等精密工业环境。

产品特点

高精度光谱监测：基于光发射光谱技术，实时分析蚀刻过程中的等离子体光谱变化，精准判断蚀刻终点。
紧凑设计：白色外壳搭配小型绿色显示屏，节省安装空间，便于集成至各类蚀刻设备系统。
网络连接功能：内置IP网络接口（默认IP:192.168.1.1），支持远程监控与数据传输，提升自动化管理效率。
稳定可靠：工业级设计，确保在复杂工况下持续稳定运行，保障蚀刻工艺的一致性与重复性。

应用场景

主要应用于半导体晶圆制造、微电子器件加工、光学薄膜蚀刻等领域，可实时监测干法蚀刻（如等离子体蚀刻）过程中材料表面的蚀刻进度，当达到预设终点时及时反馈，有效控制蚀刻深度与精度，提高产品良率。

技术参数（图片可见）

设备编号：EV-01
网络IP地址：192.168.1.1
显示方式：绿色段码显示屏

注：更多详细技术参数（如光谱检测范围、响应时间、通信协议等）请参考产品手册或联系供应商获取。

HORIBA光发射光谱蚀刻终点监测仪EV-140C-P，成色新，现货4台，议价再拍。

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