产品概述
阿尔卡特(adixen)ATH 500M分子泵是一款工业级高真空获得设备,采用先进的分子泵技术,适用于需要高真空环境的工业生产及科研领域。设备整体为银色金属圆柱形结构,顶部覆盖透明保护膜,侧面清晰印有品牌及型号标识,底部配备PURGE(吹扫)和WATER(冷却水)接口,确保设备在运行过程中的稳定性和可靠性。
产品特点
- 品牌保障:由知名真空设备品牌阿尔卡特(adixen)制造,品质可靠,性能稳定。
- 结构设计:金属外壳坚固耐用,圆柱形结构优化了气体流动路径,提升抽气效率。
- 功能接口:配备PURGE吹扫接口和WATER冷却接口,可有效防止污染物进入泵体,并通过冷却水循环控制设备运行温度。
- 高真空能力:作为分子泵,具备在宽压力范围内提供高抽速的能力,满足高真空工艺需求(具体参数需参考官方手册)。
应用场景
该分子泵广泛应用于以下领域:
- 半导体芯片制造过程中的真空环境构建
- 真空镀膜设备(如光学镀膜、磁控溅射等)
- 科研实验室的高真空实验系统
- 电子器件封装、真空干燥等工业制程
注意事项
使用前需确保设备安装正确,连接好冷却水路和吹扫气体管路,避免因散热不良或杂质进入导致设备损坏。具体操作及维护请遵循阿尔卡特官方提供的技术手册。
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