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MKS 137612-G1 半导体设备控制器产品说明
本产品为MKS品牌旗下的半导体设备配件控制器，型号包括137612-G1、121A-26297及STN 2，专为半导体制造设备的精准控制与信号交互设计，具备稳定可靠的性能。
产品特点
- 多接口配置：集成RS-232 Serial串口、Analog I/O模拟量接口、Digital I/O数字量接口，满足设备与外部系统的数据传输及控制需求。
- 稳定电源输入：采用24VDC直流供电，确保设备在工业环境下的稳定运行。
- 工业级设计：白色金属外壳结构，具备一定的抗干扰能力和耐用性，适应半导体生产车间的复杂环境。
应用场景
主要应用于半导体制造设备中，作为核心控制单元，实现对设备运行参数的采集、处理及外部设备的联动控制，广泛适用于晶圆加工、光刻、薄膜沉积等半导体生产环节。
技术参数
- 电源电压：24VDC
- 通信接口：RS-232 Serial
- I/O类型：Analog I/O（模拟量输入输出）、Digital I/O（数字量输入输出）
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￥2550.00 ￥5100.00
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￥200.00 ￥400.00
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￥2588.00 ￥5176.00
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