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- CTI-Cryogenics 0190-27355 板载 P
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产品概述
CTI-Cryogenics On-Board Cryopump（型号：81162G0001R/0190-27355）是由HELIX TECHNOLOGY CORPORATION生产的专业低温真空泵，专为真空环境应用设计。其银色金属圆柱形结构坚固耐用，顶部配备多个螺栓接口用于系统连接，底部集成电路板及管路组件，整体设计紧凑，适用于集成安装在各类真空设备中。
技术参数
- 型号：81162G0001R, 0190-27355
- 序列号：1007CHE11999
- 生产日期：2010年7月26日
- 适用系统：300毫米PVD（物理气相沉积）系统
- 品牌：CTI-Cryogenics
产品特点
该低温泵采用板载（On-Board）设计，便于集成到设备内部，节省安装空间。其核心功能是通过低温吸附原理实现高效真空抽取，适用于对真空度要求极高的工业场景。设备表面贴有蓝色标识标签，清晰标注产品型号、序列号等关键信息，便于维护与识别。底部电路板组件为泵体提供控制与监测功能，确保稳定运行。
应用场景
主要应用于半导体制造、真空镀膜（PVD）、科研实验等需要高真空环境的领域。尤其适用于300毫米晶圆加工设备、精密光学元件镀膜机等大型真空系统，为工艺过程提供稳定可靠的真空条件，保障产品质量与生产效率。
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