安捷伦 Agilent 9160050 钛升华泵产品说明
安捷伦(Agilent)9160050 钛升华泵(Titanium Sublimation Pump, TSP)是一款专为高真空系统设计的关键设备,广泛应用于科研、半导体制造、真空镀膜等对真空环境要求严苛的领域。
产品特点
- 高效真空获取:通过钛金属在高温下升华并吸附气体分子的原理,可快速实现超高真空环境,满足精密工艺对真空度的高标准要求。
- 优质材质与结构:采用高纯度金属材质打造,顶部配备标准法兰接口,便于与真空系统集成;内部多根加热元件设计,确保钛升华过程均匀稳定。
- 品牌可靠性:作为安捷伦(Agilent)旗下产品,依托品牌在真空技术领域的深厚积累,具有出色的稳定性和长使用寿命,降低维护成本。
应用场景
- 半导体晶圆制造中的薄膜沉积、离子注入等工艺环节。
- 科研实验室的高真空实验装置,如表面物理、材料科学研究。
- 真空镀膜设备,用于光学薄膜、功能薄膜的制备过程。
- 其他需要超高真空环境的工业生产及科学研究领域。
注意事项
产品需在专业人员指导下进行安装与维护,确保与真空系统的兼容性及操作安全性。使用过程中应遵循安捷伦官方提供的技术手册,以保障设备性能和使用寿命。
没有评价数据