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DLI25CVLB MKS蒸发器
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DLI25CVLB MKS蒸发器

DLI25CVLB MKS蒸发器

原价
¥ 36000.00
售价
¥18000.00
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MKS DLI25CVLB 蒸发器产品说明

MKS DLI25CVLB 蒸发器是由美国MKS Instruments公司生产的精密工业设备,专为前驱体蒸发过程优化设计,广泛应用于半导体制造、化学气相沉积等对气体蒸发精度要求较高的领域。

产品特点

  • 工厂优化配置:设备出厂时已根据特定前驱体优化碟片数量,确保蒸发效率与稳定性,用户如需调整碟片数量需咨询原厂。
  • 精准参考标准:设备性能参数参考条件为0°C和760 TORR,保证在标准环境下的可靠运行。
  • 金属材质结构:采用耐用金属外壳,具备良好的抗腐蚀性和结构稳定性,适应工业复杂环境。
  • 功能接口设计:配备PURGE/MIX接口,支持气体净化与混合功能,满足不同工艺对气体预处理的需求。

技术参数

  • 型号:DLI25CVLB
  • 参考条件:0°C,760 TORR
  • 产地:美国

应用场景

该蒸发器主要用于需要精确控制前驱体蒸发速率的工业过程,如半导体晶圆制造中的薄膜沉积、太阳能电池生产、精密化工合成等领域,为工艺提供稳定的气态前驱体来源。

DLI25CVLB MKS蒸发器
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