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Brooks Automation的KLA-Tencor晶圆
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Brooks Automation的KLA-Tencor晶圆

Brooks Automation的KLA-Tencor晶圆机器人,型号ATM407C-1-S-B-CE-S2,制造日期是05/2004。

原价
170000.00
售价
85000.00
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Brooks Automation ATM407C-1-S-B-CE-S2 晶圆机器人产品说明

Brooks Automation作为半导体自动化领域的知名品牌,其ATM407C-1-S-B-CE-S2型号晶圆机器人是专为高精度晶圆传输设计的关键设备,制造日期为2004年5月,具备CE认证,符合工业安全标准。

产品特点

  • 高精度传输:采用精密运动控制技术,确保晶圆在传输过程中的稳定性和位置准确性,满足半导体制造对微操作的严苛要求。
  • 不锈钢材质:主体采用不锈钢打造,具备良好的耐腐蚀性和结构强度,适用于洁净室等高精度生产环境。
  • 模块化设计:顶部金属连接部件支持灵活安装与集成,可适配不同型号的晶圆处理设备,提升产线兼容性。

应用场景

主要应用于半导体晶圆制造流程中的自动化传输环节,包括晶圆检测、光刻、沉积等工序之间的物料转运,广泛适用于8英寸、12英寸等主流晶圆尺寸的生产场景,是半导体前道、后道工艺中实现无人化生产的重要设备。

技术参数

  • 型号:ATM407C-1-S-B-CE-S2
  • 品牌:Brooks Automation
  • 制造日期:2004年5月
  • 认证:CE
  • 材质:不锈钢
Brooks Automation的KLA-Tencor晶圆机器人,型号ATM407C-1-S-B-CE-S2,制造日期是05/2004。
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