Brooks Automation ATM407C-1-S-B-CE-S2 晶圆机器人产品说明
Brooks Automation作为半导体自动化领域的知名品牌,其ATM407C-1-S-B-CE-S2型号晶圆机器人是专为高精度晶圆传输设计的关键设备,制造日期为2004年5月,具备CE认证,符合工业安全标准。
产品特点
- 高精度传输:采用精密运动控制技术,确保晶圆在传输过程中的稳定性和位置准确性,满足半导体制造对微操作的严苛要求。
- 不锈钢材质:主体采用不锈钢打造,具备良好的耐腐蚀性和结构强度,适用于洁净室等高精度生产环境。
- 模块化设计:顶部金属连接部件支持灵活安装与集成,可适配不同型号的晶圆处理设备,提升产线兼容性。
应用场景
主要应用于半导体晶圆制造流程中的自动化传输环节,包括晶圆检测、光刻、沉积等工序之间的物料转运,广泛适用于8英寸、12英寸等主流晶圆尺寸的生产场景,是半导体前道、后道工艺中实现无人化生产的重要设备。
技术参数
- 型号:ATM407C-1-S-B-CE-S2
- 品牌:Brooks Automation
- 制造日期:2004年5月
- 认证:CE
- 材质:不锈钢
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