普发TMH 071 P涡轮分子真空涡轮泵

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普发TMH 071 P涡轮分子真空涡轮泵

普发TMH 071 P涡轮分子真空涡轮泵

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普发 TMH 071 P 涡轮分子真空泵产品说明

普发（PFEIFFER）作为全球领先的真空技术供应商，其TMH 071 P型号涡轮分子真空泵是高真空应用领域的关键设备。该产品采用先进的涡轮分子泵技术，具备高转速、高抽速特性，能够快速建立并维持超高真空环境，广泛适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等对真空度要求严苛的场景。

产品特点

高真空性能：抽速可达80 L/s，极限真空度高，满足高真空工艺需求。
高速稳定运行：最高转速达80000转/分钟（1/min），确保高效抽气效率。
紧凑设计：整体采用银色金属材质，结构紧凑，重量仅1.2 kg，便于安装集成。
可靠接口：配备DN 63 ISO-K标准接口，适配多种真空系统管路。
安全认证：符合CE安全标准，确保设备在工业环境中安全稳定运行。

技术参数

应用场景

该涡轮分子泵主要应用于以下领域：

半导体工业：晶圆制造、芯片封装过程中的高真空环境维持。
真空镀膜：光学镀膜、硬质镀膜等工艺中的真空系统核心部件。
科研实验：物理、化学、材料科学等实验室的真空实验平台。
表面分析：X射线光电子能谱（XPS）、扫描电镜（SEM）等设备的真空保障。

普发TMH 071 P涡轮分子真空泵凭借其卓越的性能和可靠性，成为高精度真空系统中的理想选择，助力用户实现高效、稳定的真空工艺控制。

普发TMH 071 P涡轮分子真空涡轮泵

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