产品概述
Advanced Energy AMAT NAVIGATOR-3013 射频电源(型号:3155132-004,P/N:0190-27579W)是一款专为工业射频应用设计的高性能电源设备。由Advanced Energy Industries, Inc.生产,常用于半导体制造、平板显示、光伏等精密工业领域,提供稳定可靠的射频能量输出。
产品特点
- 坚固耐用:采用银色金属外壳,结构坚固,具备良好的散热性能,表面设计有密集散热孔,确保设备在长时间运行中保持稳定温度。
- 接口丰富:配备BNC接口、电源接口及数据接口,支持多种控制信号输入与状态监测,便于集成到自动化系统中。
- 高精度控制:作为Advanced Energy NAVIGATOR系列产品,具备高精度的功率输出控制和调节功能,满足精密工艺对能量稳定性的要求。
应用场景
该射频电源主要应用于以下领域:
- 半导体晶圆制造过程中的等离子体刻蚀、沉积工艺;
- 平板显示器(LCD/OLED)生产中的薄膜制备;
- 光伏电池片生产中的等离子体处理环节;
- 其他需要稳定射频能量供应的工业科研场景。
技术参数
图片中未直接显示具体技术参数,典型NAVIGATOR系列射频电源参数参考:
- 输出频率:13.56MHz(常见工业射频频率);
- 功率范围:根据型号不同,通常覆盖数百瓦至数千瓦;
- 控制方式:支持本地/远程控制,具备RS232或类似数据接口。
注意事项
该设备为二手产品,购买前建议确认其运行状态、维修历史及兼容性,确保符合具体应用需求。安装与操作需遵循Advanced Energy官方技术手册,避免因不当使用导致设备损坏或安全风险。
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