VAT真空气动阀门2164-KA41-0002产品说明
VAT真空气动阀门2164-KA41-0002是一款专为真空系统设计的精密控制元件,具备高效的气流控制能力,广泛应用于半导体、光伏、科研实验室等对真空环境要求严苛的领域。
产品特点
- 优质材质:阀体采用高纯度金属材质,确保在真空环境下的稳定性和耐腐蚀性,控制盒外壳为蓝色工程塑料,兼具防护与轻量化特性。
- 精密控制:采用气动驱动方式,响应迅速,开关动作精准,可有效控制真空系统中的气流通断,保障系统真空度稳定。
- 安全设计:顶部配备白色塑料保护盖,在运输和存储过程中可保护接口不受损坏,安装时便于快速拆卸。
应用场景
- 半导体晶圆制造设备中的真空管路控制
- 光伏行业薄膜沉积工艺的真空系统
- 科研实验室高真空环境模拟装置
- 真空镀膜、离子注入等真空工艺设备
技术参数
(注:图片中未直接显示具体技术参数,以下为该型号常见参数参考,实际参数请以产品手册为准)
- 接口类型:符合真空系统标准接口
- 工作压力范围:适用于高真空至低真空环境
- 驱动方式:气动驱动
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