产品概述
AMAT 0010-21565 Slit Valve Kit是一款全新原装的关键清洁部件,专为半导体制造设备中的真空系统或晶圆传输系统设计。产品采用密封包装,确保在运输和存储过程中保持洁净状态,适用于对部件清洁度要求极高的工业环境。
产品特点
- 全新原装:产品为原厂生产,包装完好,数量为1件(0001 EA),确保性能可靠。
- 关键清洁部件:标签明确标注“CRITICALLY CLEAN PART”,需在处理时始终佩戴清洁乳胶手套,禁止用裸手接触,以避免污染。
- 严格的包装标识:包装上包含黄色警示标签“TO BE REMOVED AT DECON ONLY”,提示仅在去污(Decontamination)流程中方可移除该标签。
- 完整追溯信息:附带LOT/SERIAL号“2133118100 - 100000000681820 - 002”,便于产品追溯和质量管控。
技术参数
- 品牌:APPLIED MATERIALS(AMAT)
- 型号:0010-21565
- 产品名称:SLIT VALVE KIT
- 数量:1件
- 序列号/批次号:2133118100 - 100000000681820 - 002
应用场景
该Slit Valve Kit主要应用于半导体晶圆制造设备中,用于控制真空腔体之间的晶圆传输通道开关,确保晶圆在不同工艺模块间的安全、洁净传输。常见于沉积(Deposition)、蚀刻(Etching)等半导体制造环节的设备维护与更换。
处理注意事项
- 必须佩戴清洁乳胶手套进行操作,避免手部油脂或杂质污染部件。
- 黄色警示标签“TO BE REMOVED AT DECON ONLY”需在专业去污流程中由相关人员移除,非Decon环节禁止撕除。
- 产品应存储在洁净、干燥的环境中,避免阳光直射和剧烈震动。
AMAT 0010-21565 ,全新一个。私聊议价,非诚勿扰。
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