Nikon 光刻机校准单元气缸组件(型号:4S007-797-A)详细说明
本产品是Nikon光刻机校准单元的核心气动执行部件,型号为4S007-797-A,适用于半导体制造领域光刻机设备的精密校准流程,确保设备在光刻工艺中的定位精度与稳定性。
产品特点
- 高精度结构设计:采用金属基板与精密气缸组件,配合弹簧与气管连接,保证气动控制的准确性和响应速度。
- 透明外壳组件:部分气缸配备透明外壳,便于观察内部状态,实时监控校准过程。
- 集成化布局:多组气缸及连接件集成于同一基板,结构紧凑,适配光刻机校准单元的安装需求。
应用场景
主要应用于Nikon品牌光刻机的校准单元,作为气动执行机构,参与光刻过程中晶圆定位、镜头对准等关键校准步骤,广泛适用于半导体芯片制造工厂的光刻设备维护与升级。
技术参数
(注:图片中未直接显示具体技术参数,以下为基于产品类型的典型参数参考)
- 适用设备:Nikon光刻机校准单元
- 气动接口:适配工业标准气管连接
- 材质:金属基板+高精度气缸组件
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