产品特点
MKS T3BI真空控制阀门采用银色金属外壳设计,结构坚固,适用于工业恶劣环境。设备集成多种接口,包括Sensor 1(High)、Sensor 2(Low)、Valve、Ext Pwr及Aux IO,满足传感器信号采集与阀门控制需求。配备直观的指示灯(Open、Close、Status、Net、Mod),实时显示阀门工作状态。通过旋钮可便捷设置节点地址(00-63)和数据速率(500Kb/125Kb/250Kb,默认250Kb),支持DeviceNet工业总线协议,实现与自动化系统的高效通信。
应用场景
- 半导体制造设备中的真空系统控制
- 科研实验室真空环境的阀门调节
- 工业自动化生产线的真空管路控制
- 需要精准控制真空度的高端制造领域
技术参数
- 通信协议:DeviceNet
- 数据速率:500Kb, 125Kb, 250Kb(可调节,默认250Kb)
- 节点地址:00-63(旋钮调节)
- 接口类型:Sensor 1(High)、Sensor 2(Low)(D型连接器),Valve接口,Ext Pwr外部电源接口,Aux IO辅助IO接口
- 指示灯:Open(打开)、Close(关闭)、Status(状态)、Net(网络)、Mod(模式)
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